为了在IBM的300mm晶圆制造工厂,利用90nm铜布线生产工艺制造LSI产品,美国Xilinx公司已经交付了FPGA(现场可编程门阵列)产品的设计数据。这是两公司于美国当地时间12月16日宣布的。
交付(Tape out)是LSI生产工序中的一个阶段,意思是说将LSI生产所需的数据送到制造厂。制造厂将根据这些数据,制作在晶圆上烧制LSI图案时使用的光掩膜。
IBM计划从2003年下半年在位于纽约州东费西基尔(East Fishkill)的300mm晶圆制造厂量产FPGA产品。“为了在这家制造厂中在300mm晶圆上采用铜布线、硅绝缘膜(SOI)和低介电绝缘体等技术,已经投入了25亿美元”(IBM)。
如果使用90nm工艺制造FPGA产品,与其他公司生产的同类竞争产品相比,就能够将LSI尺寸减小50%~80%。“利用Xilinx的90nm技术,大概可以将100万门的FPGA产品(逻辑单元数约为1万7000个)的价格降到不足25美元(2004年年底25万个批量生产时的单价)的价位上,与其他公司的产品相比,价格将降低35%至70%”(IBM)。